深圳證券交易所

股票代碼:002819

股票代碼

SZ002819

400-650-5566

FEMTO CUTE-MPR 等離子表面處理系統

femto CUTE-MPR 等離子表面處理系統
CUTE-MPR 等離子表面處理系統 產品規格

真空室:140 × 200 × 110(W × D × H / mm)
氣 路:標準一路氣體(最多2路氣體,MFC)
電 源:50kHz,100W
操作界面:全自動&手動操作(觸摸屏模式)
壓力監測:大氣壓~ 1×10-3 Torr
選配項:電源功率升級(最大300W)
    射頻電源(13.56MHz,最高300W,包括水冷)
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