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股票代碼:002819

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SZ002819

400-650-5566

SENTECH SE401 在線式激光橢偏儀

sentech SE401 在線式激光橢偏儀

  SE 401是出色的單波長橢偏儀, 使用旋轉分析器,對測量橢偏角度有高重復性和長期穩定性,快速測量數據,基于windows操作系統的軟件使測量精確、快速、簡單。SE 401過程控制橢偏儀適用于監控動態過程,如不同環境下單層膜的生長或蝕刻過程。

規格
  ·激光波長 632.8 nm
  ·測量時間最小80 ms(測量Ψ,Δ數據)。
  ·接口配置,用于將橢偏儀安裝在反應腔上。
  ·激光聚焦高度調節
  ·應力釋放窗口
  ·基于windows系統的操作分析軟件,在線監控橢偏測量并計算單層膜的膜厚、折射率。

選項
  ·高真空應力釋放窗口
  ·使橢偏儀正面向上的附加置換單元
  ·雙波長激光 (可選405 nm或1550 nm)
  ·角度計可調節入射角,步進值5度。載物臺直徑150mm
  ·TIMECALC 軟件,動態橢偏測量模擬和分析軟件。
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